無塵潔凈室內(nèi)潔凈度主要因素-塵埃粒子計數(shù)器

    無塵潔凈室的氣流速度/換氣次數(shù)，一直是潔凈室規(guī)劃中遭到關(guān)注的問題，跟著潔凈室污染源的操控作用添加及末級過濾器功率的提高，對有關(guān)規(guī)范、導(dǎo)則等提出的引薦或參考值是否偏于保存，已有不少討論;FFU在應(yīng)用中人們擔心的噪音、損壞修理等問題已在實踐中得到解決，跟著FFU的不斷改進，對是否選用FFU回風體系也是個熱門：懸浮分子污染(AMC)的操控在微電子及IC工業(yè)中已日益說到日程上來，遭到關(guān)注。以下對這些問題的狀況分別作概括和剖析。

無塵潔凈室內(nèi)必定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用處等具體狀況而異，它不只受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器功率還受其他要素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及挑選氣流速度的要素主要是：

(1)室內(nèi)污染源：建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工自身等都是塵粒開釋源，根據(jù)具體狀況而異，改變很大;

(2)室內(nèi)氣流流型及分布：單向流要求均勻、對等的流線，但會遭到工藝設(shè)備安置和方位變化及人員活動狀況等的干擾構(gòu)成部分渦流;而非單向流要求充混合，防止溫度分層。